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                液體顆粒計數器檢測電子級強酸強堿

                更新時間:2024-03-28   點擊次數:83次

                1、單酸堿:硫酸、氨水、雙氧水、磷酸、硝酸、鹽酸、冰醋酸、氫氧化鉀、氫氧化鈉等。

                2、作用:電子級強酸強堿多應用于半導體制造過程中對零部件的腐蝕和清洗,表面處理中。

                3、SEMI等級標準:電子化學品的判定通常采用電子化學品SEMI國際標準等級表

                                    電子化學品SEMI國際標準等級表

                SEMI等級

                IC線寬

                金屬雜質

                控制粒徑

                顆粒(個/mL)

                C1

                1.2

                ≤1000(1ppm)

                ≤1.0

                ≤25

                C7

                0.8~1.2

                ≤10(10ppb)

                ≤0.5

                ≤25

                C8

                0.2~0.6

                ≤1.0(1ppb)

                ≤0.5

                ≤3

                C12

                0.09~0.2

                ≤0.1(0.1ppb)

                ≤0.2



                4、判定儀器和液樣:

                使用儀器:PMT-2 液體顆粒計數器,防腐型,檢測范圍0.1-1.0um,檢測粒徑0.1、0.2、0.5、1.0um。

                液樣:硫酸、氫氧化鈉

                5、檢測結論:

                看檢測結果里的積分值,看≥0.1的粒子數量,≥0.2的粒子數量,≥0.5的粒子數量。參照數量的個數來判定所測樣品達到那個級別的。

                應用:化學品生產商一般在實驗室使用離線取樣檢測的方式。抽取產線上數個液樣,按照批次來進行檢測。反應所生產液樣的工藝是否達標。

                6、注意事項:

                確保儀器的準確性:在使用前應對儀器進行校準,以確保檢測結果的準確性。
                避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的顆粒進入檢測液樣;在百級清潔環境里進行檢測,避免空氣中的大顆粒進入檢測液樣。





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