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                液體顆粒計數器在濕電子化學品等級判定中的應用

                更新時間:2024-03-13   點擊次數:171次


                1、概念:濕化學品是歐美及我國中國臺灣地區的稱呼(更為普遍),國際上又稱工藝化學品,我國習慣稱其為超凈高純試劑。

                2、用:濕化學品是超大規模集成電路、平板顯示、太陽能電池、晶圓等制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一。濕化學品一般要求超凈和高純,對生產、包裝、運輸及使用環境的潔凈度都有很高要求。

                3、目的:濕電子化學品的金屬雜質含量越低、顆粒度越小,越是可以應用于更為先進的晶圓制程工藝。所以濕電子化學品的核心指標就是“純凈度"。液體顆粒計數器來判定濕化學品的純度等級,以便對應的企業采購對應級別的產品。

                4、檢測儀器:PMT-2 液體顆粒計數器,防腐型。采用普洛帝核心技術創新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統,可

                對鹽酸、硫酸、硝酸、氨水、雙氧水、氫氧化鉀、氫氧化鈉、刻蝕液等化學品進行顆粒檢測。0.1、0.2、0.5三個檢測段的傳感器供選擇。

                5、試劑:單酸堿、混合液、溶劑類。

                6、檢測過程:取一定量溶液;用PMT-2液體顆粒計數器對液樣進行檢測,將檢測結果對照電子化學品SEMI國際標準等級表,來判定溶液的級別。見下表:

                 

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                7、結論:目前太陽能電池領域僅需要達到G1等級;顯示面板領域一般要求達到G2、G3等級;集成電路領域,8英寸及以下晶圓要求達到G3、G4水平,12英寸晶圓需要達到G5等級。國際上制備G1到G5級濕電子化學品的技術已經趨于成熟,國內大部分企業已經達到國際G3標準,并已開展G4標準的研發工作。





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